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삼성전자는 불소계열화합물(PFAS)이 없는 친환경 반도체 소재를 도입할 예정으로, 이는 자연 분해가 어려운 PFAS의 세계적 규제 움직임에 대응하려는 포석
- 삼성전자는 반도체 소재 협력사와 ‘PFAS 없는’ 극자외선(EUV) 린스액을 개발했고, 미국 텍사스주 테일러에 건설 중인 반도체 위탁생산(파운드리) 팹에 새로운 EUV 린스를 우선 도입할 방침
- 업계 관계자는 “반도체 산업에서 PFAS 규제는 아직 구체화되지 않았다”라며 “그러나 장기적으로 PFAS가 없는 신소재 등 대체재가 필요해 소재 업체들이 대응책을 강구하고 있다”고 강조
